(1)高真空機組(一般采用油擴散泵、羅茨泵、機械泵),能夠對焊接絕熱氣瓶的夾層抽真空,并且能保證系統真空度在10Pa以內,其中油擴散泵、羅茨泵、機械泵的性能至少達到以下要求:
①羅茨泵,極限全壓力為0.75Pa,極限壓力為3x10Pa,幾何抽速為150L/s;
②機械泵,極限壓力為6×102Pa,極限全壓力為1Pa,抽氣速率為30L/s
③油擴散泵,抽氣速率為2000L/s,極限壓力為7x10°Pa,最大排氣壓力為40Pa
(2)用于靜態蒸發率測試的質量流量計及質量流量控制器能夠實時顯示瞬時流量和累計流量,精度等級至少為±1.5F.S;
(3)用于夾層真空度測試的真空規管必須采用金屬規管,真空規管測量范圍至少為105pa~5*10-7pa
(4)氨質譜檢漏儀,最小可檢漏率至少達到102Pam3/s。
壓力單位的換算關系MPa,kPa,bar,psi
水壓與氣壓的壓縮率關系
水壓試驗與氣壓試驗的區別
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